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真空系统: 机械泵Oil pump/Dry pump + 涡轮分子泵/低温泵/电磁泵
离子: DC / RF
均匀性:100 mm衬底 +/- 4%, 刻蚀速率降低均匀性+/-2%
衬底尺寸:4英寸衬底(4-12英寸可选),水冷。
终端检测系统:SIMS 或激光干涉仪。
控制方式:全自动电脑控制,半自动或手动控制可选。
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肖天宇先生(联系我时,请说明是在维库仪器仪表网看到的,谢谢)
上海续波光电技术有限公司
免企业未认证证营业执照已上传
经营模式:贸易商
所在地:上海市
主营产品:磁控溅射、电子束蒸镀、加速器质谱仪、石墨化系统