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JKZC-ST4型半导体材料四探针测试仪
关键词：电阻，电阻率，四探针，半导体
JKZC-ST4型半导体材料四探针测试仪 关键词：电阻，电阻率，四探针，半导体 薄 膜探头测薄膜 钨针探头 一、产品概述 JKZC-ST4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。 仪器具有测量高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。 仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 二、符合： 1、符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、 2、符合GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》 3、符合美国 A.S.T.M 标准 二、产品应用： 1、测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻； 2、可测柔性材料导电薄膜电阻率/方阻 3、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）电阻率/方阻 4、纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻 5、电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量 6、可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻 二、基本技术参数 1、 测量范围 电 阻：1×10-4～2×105 Ω ，分辨率：1×10-5～1×102 Ω 电阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm 方 阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□ 2、测量方式：自动或手动 3、基本：±0.1/% 4、四探针探头： (1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调 (2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可 5. 电源：198V －242V(AC），47.5Hz －63Hz 6、操作环境： 0°C －40°C ，≤90%RH 7、外形尺寸：200mm（长）×220 mm（宽）×100mm（高） 8、数据传输方式；USB 9、软件方式：人性化分析软件界面，数据自动生成 分析软件（一） 
